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在處理含氟的有機廢氣時，一般采用吸收凈化法和吸附凈化法，這里我們主要介紹一下吸收凈化法。
在我國很多工業生產的過程中，對含氟廢氣凈化治理時，都會采用封閉循環水吸收和堿液吸收工藝。處理過程為：吸收器出來的尾氣經旋風除沫，然后在進入洗滌塔，進入洗滌塔后，用污水循環泵將吸收液循環，用于進一步吸收。尾氣凈化后，再經過除沫器，由風機送入尾氣煙囪進行排空。在此過程中，由洗滌塔出來的含氟污水，會有一部分經循環泵進行自身循環，還有一部分會用泵送入旋風除沫器，進入除沫器的一部分含氟污水，在除沫器內會進行氣液接觸吸收。
曾有研究報道指出，利用吸收凈化法處理含氟氣體時，在經過幾級的吸收后，氟的吸收率會介于97%-98%之間。氟化氫很容易溶于水，從而形成氫氟酸，氫氟酸又能和許多堿性物質發生反應，從而形成氟化鹽。四氟化硅也很容易溶于水，從而形成氟硅酸和硅膠。
所以，采用水或堿液吸收的方法，會很輕易的脫除廢氣中的氟化氫和四氟化硅。采用堿液吸收含氟廢氣中的HF和SiF，經常會用氨水、石灰乳和純堿、燒堿溶液作為吸收劑，且脫氰效果較好，同時還能把含氟廢氣中的有害物質轉化為有用物質，吸收液還能進行再生的循環利用。
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